白光干涉儀的特點和應用領域
點擊次數：2718 更新時間：2016-01-26
白光干涉儀特點：
1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm---200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實現測量僅需幾秒鐘。
6、掃描儀：閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓
8、測量軟件：基于windows/Mac/操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。
白光干涉儀應用領域：
1、半導體晶片
2、液晶產品（CS,LGP,BIU）
3、微機電系統
4、光纖產品
5、數據存儲盤（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物醫學工程
