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美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī) SVT公司的樣品解理部件可以將15mm（其他尺寸可選）的方形樣品解理成15個(gè)1mm×15mm的Bar條。 所有解理出的bar條被收集到樣品托，堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。 *設(shè)計(jì)的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。 此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。 解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。 解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室，不用暴露大。