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微納米壓痕儀/劃痕儀：用于評估涂層和固體表面的粘附性和耐刮擦性。測試在受控的力下對樣品表面進行劃傷，劃痕頭在遞增、恒定或臺階增力的載荷下沿著樣品表面移動。通過檢測摩擦力、位移和聲發射等信號以及利用3D成像技術來檢測涂層破損。

Rtec劃痕儀可進行劃痕粘著、劃痕和慢速往復磨損試 驗。x、y、z軸都有閉環控制的編碼器。向下的力實時控制。該儀器可用于測試從納米到幾微米的涂層。