項 目 簡 述

參數說明

共聚焦三維表面形貌儀

可 快速垂直掃描的旋轉盤共焦技術。

使用高數值孔徑 (0.95) 以及高倍數的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。

具有光學形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機， 空間下樣可調至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的*配置。

在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制（0.1%- 100%)

 應用于透明層/薄膜。

兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。

長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

 *的穩定性。